XADA

核心优势

✲   首个商用的XADA系统

有在电路中引入延时的能力

✲   在高通量密度下的微米级X射线束斑

能够实现低至数微米（1-5 um）

✲   为测试设备设计

从零开始设计，可实现最大的灵活性，以适应各种测试

首台X射线辅助改进设备

X射线辅助改进设备（XADA）相当于激光辅助改造设备（LADA）的X射线版本。在XADA中，高度聚焦、高通量密度的X射线束会在电路中产生可感知的延时，以快速分离关键信号路径（“速度路径”）。在新兴的背面供电(BPD)方案中，电源线被移至设备背面（见下图）。而Sigray的XADA-200是这种方案急需的电路调试解决方法。

BPD在很大程度上被认为是集成电路设计的未来，可以提高汽车、移动设备和人工智能处理中高性能芯片的效率和速度。问题在于在BPD中，LADA被淘汰了。因为现在不再能够简单地通过在设备背面减薄，来感应穿透的近红外激光产生的光电流（或局部热量）了。凭借X射线的穿透能力，XADA 不仅能够在新的BPD器件中进行电路调试，而且还几乎不需要样品制备（例如背面减薄）。

微米级X射线束斑

XADA 的小束斑尺寸得益于X 射线源和X射线光学技术方面的专利和正在申请专利的创新。

Sigray 是 X 射线光学领域的全球领导者，在过去十年中在多项政府大笔资助下开发产能。该公司现在向大多数同步辐射设施供应X射线聚焦光学透镜。由于在 X 射线光学透镜方面的大量研发投入，Sigray 是世界上唯一一家能够制造符合 XADA 所需的对平直度和表面轮廓具有严格要求的双抛物面型X射线聚焦透镜的公司。XADA所使用的光学透镜是通过正在申请专利的工艺制造的，该工艺可最大限度地提高对称性并最大限度地减少斜率误差。在X射线源和光学透镜上正在申请专利的其他创新预计将使Sigray的XADA束斑在未来达到亚微米尺寸。

使用X射线，可以看到电路延迟中3-4 ps的变化。

使用Sigray XADA看到的3-4 ps延迟

 为测试设备做的配置和设计

Sigray 与工业界的意见领袖合作开发了这种有大且灵活的测试设备区域的系统（为了适应各种不同的测试设备而设计）。由于测试设备的电缆可能很昂贵，因此系统还设计了长电缆线，以最大限度地减少所需的电缆长度。而且测试设备在移入和移出XADA单元时无需断开电缆线。

XADA技术参数