核心优势

 

✲   具有突破性空间分辨率的 3D X 射线显微镜

        实现低至0.3µm的空间分辨率和 <100 nm 的体素

✲   在大工作距离下仍保持高分辨率

即使当源-样品（工作）距离较大时，也能实现亚微米的分辨率。这对于大型或原位样品很重要

✲   采用新颖衬度机制以实现多功能性

获得专利的多光谱射线源 (Multi-Spectral Source，MSS)，可实现准单色X 射线束。可在最难成像、低对比度样品上实现高达 10 倍的效率。

 

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 领先的300nm (0.3µm)空间分辨率

 

EclipseXRM 是一款革命性的系统，它弥补了微米XRM和纳米XRM之间的 X 射线显微镜 (XRM) 差距。即使对于大型样品，也能提供低于 0.3 µm的空间分辨率。该分辨率远远超过市场上已有的XRM，其空间分辨率仅限于约 0.5 µm。

 

 

 

该系统可实现的最高分辨率是同类最佳的，也归功于高效的探测器。与市场上的其他系统相比，当以更小的体素尺寸成像时，这可以实现更高的效率。

 

从页岩样品上可以轻松看出 EclipseXRM 相对于其他X射线显微镜 (XRM) 的分辨率优势（如下图所示）。左侧显示的是使用20X物镜、空间分辨率为0.5 µm的其他XRM 的图像，右侧显示的是 EclipseXRM 强大的高分辨率图像。EclipseXRM 的数据不仅明显清晰得多（清晰度几乎与 SEM 类似），而且 EclipseXRM 的数据获取时间也很短（2.5 小时与 4 小时）。此外，EclipseXRM 的数据集具有足够的信噪比 (SNR) 来进行简单的 FDK (Feldkamp-Davis-Kress) 重建，而其他XRM 得到的20X数据由于信噪比较差，需要使用耗时的迭代重建来重建。

 

 

 

 

即使在长工作距离下也能实现亚微米分辨率

 

大型样品和原位样品通常需要样品周围有更大的空间才能完整旋转。因此，这可能会导致标准 X 射线系统的分辨率较差。为解决这一问题而大量推广的一种常见方法是使用采用高放大倍率物镜的“两级放大”方案。 然而，这会牺牲探测器的效率。

EclipseXRM正在申请专利的新型设计提供了先前方法的替代方案，无需高倍物镜即可在大工作距离下实现亚微米分辨率（见下图）。

 

 

 

 

新颖的多光谱成像实现多功能性

 

EclipseXRM 旨在满足研究机构的各种需求，满足各种样品形状、尺寸和成分的需求。这些研究机构通常需要以高质量和最快采集时间对样品进行成像。由于没有单一组件可以满足全部能量范围的要求，EclipseXRM 将多个X射线源和探测器合并到同一个系统中。一个非常关键的部分是多光谱源 (MSS)，它能提供多种准单色 X 射线束（这与大多数系统的源产生的多色 X 射线不同）。这为一些极具挑战性的样品提供了所需的出色衬度，例如新型锂电池样品中的低 Z 结构和生物样品。

 

 

 

EclipseXRM 包含多种的可选光谱源，可产生准单色X射线，为具有挑战性的样品提供出色的衬度。

 

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系统特点

 

新颖的架构设计，专利的 X 射线技术

 

EclipseXRM发明人Wenbing Yun博士，因其在 X 射线显微镜上的创新赢得了四项著名的R&D 100奖项，并且在过去四十年中一直是同步辐射和实验室 X 射线显微镜的先驱。EclipseXRM系统采用了Sigray 开发的多项正在申请专利和已获得专利的创新技术，并结合了最新的硬件升级，例如具有旋转稳定性优于50nm的免维护气浮样品台和高效 CMOS 传感器。
 

该系统已被多家全球领先的半导体公司和研究机构采用。

 

 

 

 

连续放大功能

 

EclipseXRM提供用于寻找感兴趣区域的 LFOV 测量扫描（包括使用 25MP+ 探测器的Ultra LFOV 扫描）。 无需切割样品即可不断放大感兴趣区域。参考下面的商业抗酸剂样品，逐渐放大，同时保持样品完整。

 

 

 

 

软件：GigaRecon断层扫描重构软件和Sigray3D采集软件

 

GigaRecon | 断层扫描重建软件将最快的重建时间与多种功能套件相结合，使每次分析都能获得最佳结果。对于 2048 x 2048 x 2200 数据集，重建速度可达到 <45 秒。GiagRecon 提供市场上最快的迭代断层扫描重建，在数据收集时间缩短 5倍的情况下，仍可实现高质量图像重建。与传统 FDK 重建相比，大大加快了断层扫描成像时间。

Sigray3D | 直观地采集数据

▪  简单、直观的软件让您和您的团队方便使用

▪  点击鼠标来对齐样品并在几秒内开始测量

▪  人工智能辅助的AutoPilot 会为每个样品提供最佳设置建议

▪  使用自动化样品处理机械手 (Sample Handling Robot，SHR) ，可实现最多达 20个样品的测试

 

GigaRecon提供了多种重建方法，包括FDK和迭代重建。 基于GPU 的数据处理过程是市场上最快的。

 

 

 

XRM Companion 具有直观的图形界面，用于采集和测量数据

 

 

相位衬度信息提取

 

EclipseXRM为生物/多聚体和地质样品提供实用的相衬，可以在系统上访问，而不需要像其他系统那样花很长的采集时间。此外，还可以用 Sigray的相位提取软件提取相位衬度信息，方便量化和分析数据。

 

 

EclipseXRM 提供相衬成像功能和直接的相位衬度信息提取，以实现增强的数据分析

 

 

 

深度学习/基于人工智能的例程

 

Sigray提供了各种各样的人工智能增强例程，包括深度学习，以提高分割速度(和质量)，并将采集时间增加4倍或更多(见右图)。

 

 

基于深度学习的分割例程，提高了分割的准确性和速度。上图是肾结石中不同矿物质的分割图。使用Dragonfly分析软件。

 

 

 

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EclipseXRM-900 主要技术参数

 

	参数	规格
整体参数	空间分辨率	0.3 μm
	长工作距离下的分辨率 （100mm直径样品）	亚微米级别
	衬度	用于生物、多聚体和地质成像的独特衬度（相位衬度、多光谱射线源）。
光源	光源 1	超亮纳米焦点X射线光源 160kVp 钨靶(基底：金刚石)
	光源 2 （可选）	多靶材光谱衬度X射线源（MSS） 100W, 50kVp 至多可选择五种X射线靶材,包括Cr, Cu, Rh, W, Mo, Au, Ti, Ag。 其他可根据要求提供
探测器	类型	标准配置有两个探测器
	探测器 1	大视场 (6.7 MP) HyperCapture-Pro CMOS技术 *可以选择升级到 13 或 27 MP。
	探测器 2	UltraVision-HDX Detector 10MP CMOS Technology
软件	命令和控制	Sigray 3D 软件，具有直观的界面和人工智能，无需大量培训即可进行采集
	数据重构	GigaRecon - 最快的商业 CBCT 重建软件
	偏置扫描	扩大超宽样品的水平视场
	螺旋扫描	适用于较高的圆柱形样品
	AutoPilot	可实现由AI 辅助的显微镜操作，进行无监督采集
	Windows和Linux双工作站	操作界面位于 Windows 工作站上，独立且强大 Linux工作站控制系统。有利于可靠的无休运行（24-7 operation）。
	EPICS	开源软件控制可实现最大的灵活性
尺寸	尺寸大小	2.6 m L x 1.4m W x 2.2m H
	样品台	免维护的气浮旋转台（推荐）。 对于某些特殊情况（如设施限制），可根据要求提供机械转台。